ZF-B 液体蜡产品介绍 通过液体蜡的上市，使用蜡的黏合操作实现了自动化，也使对应着高集聚化的高精度芯片的生产成为可能。进一步说，也与环境污染问题的要求相吻合，实现了[水溶性（中性）]。
一、特色
1.稳定的品质……每批次的每个检查项目同一级别的检验，要经过生产部门和品质管理部门，进行双重检验后发货。
2.低金属不纯物质……检测原材料，中途的工程，产品[金属的不纯物质]。使用严格挑选的原材料，经常进行监视。
3.精制精密过滤……独特的精密过滤体系以及去除粒子的高水平的洗瓶设备。
4.以低成本达到低环境污染……市场贩卖的专用洗涤剂，虽然可以将蜡洗净，与有机洗涤溶剂相比，running cost 只有十分之一，也无需担心环境污染。做为废 水处理[活性污泥处理]和[中和]很必要。
5.flexible（灵活性）……涉及浓度·软化点·溶化黏度·硬度·溶剂等所有项目，可以灵活地适应用户的需求，请您与我们商谈。
二、使用液体蜡的预备知识
为了液体蜡能完全熟练应用于 Auto Mount，必须管理的相互关联的因素有很多。因此，将以上因素的要点整理为下表。
同时，导入液体蜡时，量产后的 trouble shooting 也有作用。控制干燥速度和成膜性，对于环境来说也是重要问题。
三、处理
浓度：目的是去除粒子·成分均一化·去除气WAX 物质特性
硬度：越硬对抛光精度越好，粘片条件变得困难。便于抛光精度和卸片的要求是相反的。
软化点：对操作性（粘片温度）·耐热性（抛光）有影响。
黏度：决定伸展和湿润性。
以上的 check point，根据用户的需求，已经将其纳入我们厂家的管理项目。
但是为开发出符合需求的液体蜡，用户提的珍贵的意见以及与用户的交流也是不可缺少的。
四、环境条件
洁净度：粘片部分 10class 以下，低的时候 wax 层变厚，装置外部也希望达到1000 以下。
适度·温度：因为液体的液温对粘片结果影响大，所以请注意提前两个小时保管在使用的室内。温湿度对干燥性有影响。
排气：提高液体的干燥度，为了防止石蜡弹回去，防止爆炸，要认真进行 spin部分的排气。排气量推荐值 0.5~1m3/分。
前处理
保管温度：保管 20~25℃。保管在低温（10℃以下）时要注意结晶析出。解决析出，需要条件 40℃一个小时或者室温状态下 4 小时以上。
除气泡处理：肉眼看不见的气泡是产生 dimple 的原因，在要使用前，要做去除气泡的操作（400mmHHg/5~8 分）。
过滤处理：即将使用前与产品同等级（0.2un）的过滤是不可缺少的。
五、标准的涂抹条件
滴下量：1inch 左右大约 0.5~0.6cc，如果最初量少，找到适当的条件是要花费时间的。决定条件后再操作比较好。另外，对于液体滴流要有策，液体滴下的位置要避开中心。
滴下时间：静止滴下比较容易找到条件，旋转滴下，量少。
旋转段数：涂抹·延展·甩干
旋转速度：一段：1000~1500rpm 速度越快 WAX 层越薄，平坦度也好。
二段：2500~4000 rpm 但是，弹回去的情况也多。
三段：5000~8000 rpm
旋转时间：标准的 spin 条件
六、粘贴条件
chuck 材质：翻转 chuck 的材质，最好是低膨胀率高、导热性好。
Chuck 面形状：是 flat 还是凸形，根据尺寸的大小也是变化的。
Chuck 面温度：要考虑到刚开始时和做了几片后 plat 的温度差。
Chuck 的真空压力：芯片在 plat 上不浮动，轻轻吸附到此程度即可。
Plat 温度：90~110℃，温度低的话松动，温度高的话不容易剥离。
Stamper 材质：硅胶为主流，由于热度，要注意表面硬化的现象，定期交换。
Stamper 形状：气球式为主流，垂直式使用条件严格，比较困难，对精度要求高。
Stamper 温度：冷却和加热时候，影响小。
Stamper 压力：用 0.3~0.5kg/cm2压 2~3 秒。高压·长时间 NG。